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低温等离子体反应区富含极高的物质,如高能电子、离子、自由基和激发态分子等,废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应,使污染物质在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较,低温等离子体技术放电密度是电晕放电的一千五百倍。

等离子体去除污染物的基本过程
过程一：
高能电子的直接轰击
过程二
O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
过程三:
OH自由基的氧化
过程四
分子碎片+氧气的反应
（3）产品性能综述
低温等离子体工业废气处理设备的发明为化工清洁生产奠定了基础,是近代化学工业生产的一次技术革命。

与目前国内常用的异味气体治理方法相比较,低温等离子体工业废气处理技术具有以下特点：
A介质阻挡放电产生电子能量高,低温等离子体密度大,达到常用等离子技术（电晕放电)的一千五百倍,几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；
B反应速度快,气体通过反应区的速度达到3-15米/秒,即达到很好的处理效果, 其他技术气体通过反应区的速度0.01米/秒都很难达到处理效果；
C气体通过部分,全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料,电极与废气不直接接触,了低温等离子体技术设备腐蚀问题；其他技术是气体与电极直接接触,电极在3个月或1年内会造成严重腐蚀,即使通过的气体没有腐蚀性,自身所产生的臭氧也会把电极造成腐蚀;
D主机为成套工业废气处理装置,前面配有专用塔,能有效去除废气中的粉尘和水分,操作简单

适用范围
（1）适应范围广泛，对VOCs有机废气、非甲烷总烃、以及《国家恶臭污染控制标准》中规定的八大恶臭物质（氨、硫化氢、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三甲胺、苯乙烯）以及苯、甲苯等废气均能有效治理净化，特别适合处理各种恶臭废气、腐臭废气、废水污水恶臭气体等。